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它是利用陰極射線管產生高能量電子與金屬靶撞擊，在撞擊過程中，因電子突然減速，其損失的動能會以X-Ray形式放出。而對于樣品無法以外觀方式觀測的位置，利用其穿透不同密度物質后光強度的變化，產生的對比效果可形成影像，即可顯示出待測物的內部結構，進而可在不破壞待測物的情況下觀察待測物內部有問題的區域。

Comet Yxlon FF35 CT X射線系統是一種創新的多功能高分辨率CT系統 ，用于研發和質量保證領域。FF35 CT 符合 SEMI® 的嚴苛標準（包括 SEMI® S2-0818 和 SEMI® S8-0218 危險和安全標準）并通過了相應的認證。

X射線衍射儀XRD 產品概述： 智能X射線衍射儀SmartLab系列，可以廣泛應用于各種材料結構分析的各個領域。可以分析的材料包括：金屬材料、無機材料、復合材料、有機材料、納米材料、超導材料。可以分析的材料狀態包括：粉末樣品、塊狀樣品、薄膜樣品、微區微量樣品。

探針式輪廓儀/臺階儀技術優勢：1. 每次掃描數據點：最多可達120.000數據點2. 最大樣品厚度：50mm(2英寸)3. 最大晶圓尺寸：200mm(8英寸)4 臺階高度重現性：4A，1sigma在1um臺階上5. 垂直范圍：1mm(0.039英寸)6.垂直分辨率：最大1A (6.55um垂直范圍下)

光學輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

透射電鏡TEM 介紹： 1. 配備了高靈敏度sCMOS相機、超廣視野的蒙太奇系統以及光學顯微鏡圖像的聯動功能，是一款新型的高通量、高分辨率 的120kV透射電子顯微鏡 2. TEM分辨率 (nm)：0.14 3. 加速電壓：10 ～ 120kV