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它是利用陰極射線管產(chǎn)生高能量電子與金屬靶撞擊，在撞擊過(guò)程中，因電子突然減速，其損失的動(dòng)能會(huì)以X-Ray形式放出。而對(duì)于樣品無(wú)法以外觀方式觀測(cè)的位置，利用其穿透不同密度物質(zhì)后光強(qiáng)度的變化，產(chǎn)生的對(duì)比效果可形成影像，即可顯示出待測(cè)物的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，進(jìn)而可在不破壞待測(cè)物的情況下觀察待測(cè)物內(nèi)部有問(wèn)題的區(qū)域。

Comet Yxlon FF35 CT X射線系統(tǒng)是一種創(chuàng)新的多功能高分辨率CT系統(tǒng) ，用于研發(fā)和質(zhì)量保證領(lǐng)域。FF35 CT 符合 SEMI® 的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)（包括 SEMI® S2-0818 和 SEMI® S8-0218 危險(xiǎn)和安全標(biāo)準(zhǔn)）并通過(guò)了相應(yīng)的認(rèn)證。

X射線衍射儀XRD 產(chǎn)品概述： 智能X射線衍射儀SmartLab系列，可以廣泛應(yīng)用于各種材料結(jié)構(gòu)分析的各個(gè)領(lǐng)域。可以分析的材料包括：金屬材料、無(wú)機(jī)材料、復(fù)合材料、有機(jī)材料、納米材料、超導(dǎo)材料。可以分析的材料狀態(tài)包括：粉末樣品、塊狀樣品、薄膜樣品、微區(qū)微量樣品。

探針式輪廓儀/臺(tái)階儀技術(shù)優(yōu)勢(shì)：1. 每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：最多可達(dá)120.000數(shù)據(jù)點(diǎn)2. 最大樣品厚度：50mm(2英寸)3. 最大晶圓尺寸：200mm(8英寸)4 臺(tái)階高度重現(xiàn)性：4A，1sigma在1um臺(tái)階上5. 垂直范圍：1mm(0.039英寸)6.垂直分辨率：最大1A (6.55um垂直范圍下)

光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

透射電鏡TEM 介紹： 1. 配備了高靈敏度sCMOS相機(jī)、超廣視野的蒙太奇系統(tǒng)以及光學(xué)顯微鏡圖像的聯(lián)動(dòng)功能，是一款新型的高通量、高分辨率 的120kV透射電子顯微鏡 2. TEM分辨率 (nm)：0.14 3. 加速電壓：10 ～ 120kV