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聚焦離子束系統(tǒng)FIB是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速，聚焦后作用于樣品表面，應(yīng)用于：產(chǎn)生二次電子信號取得電子像，此功能與SEM相似，用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工，通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng)，有選擇性的剝除金屬，氧化硅層或沉積金屬層。

掃描電鏡SEM簡介：FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對簡單，并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域。