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當前位置:首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  4 外延系統  >  Compact 21MBE分子束外延系統

MBE分子束外延系統

簡要描述:RIBERMBE分子束外延系統Compact 21 已成為有史以來最成功的商用 3 英寸 MBE 系統。憑借核心 Compact 21 DNA 在所有配置(III-V、II-VI、Gp IV、氧化物、金屬、GSMBE)中都很明顯,該多功能系統在從基礎研究到設備開發和優化的每個研究領域都得到了完善的服務。它最多可容納 12 個源端口,并且與電子槍兼容。這款整潔而強大的反應器可提供手動或全自動

  • 產品型號:Compact 21
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-05
  • 訪  問  量: 430

詳細介紹

1 產品概述:

   Riber分子束外延(MBE)系統是一款在半導體及光電子領域廣泛應用的先進設備,以其高精度、高純度和低溫生長的特點而著稱。該系統能夠在超高真空環境下,通過精確控制分子束的流量和速度,實現原子層級的材料沉積,從而生長出具有優異性能的薄膜材料。Riber公司其MBE系統涵蓋了多種型號,如MBE 6000-Multi4英寸中試生產系統等,以滿足不同規模和需求的生產場景。

2 設備用途:

  半導體制造:Riber MBE系統可用于生長高質量的半導體材料,如GaAs、InPGaN等,這些材料是制造晶體管、二極管、激光器等微電子器件的關鍵。通過MBE技術,可以精確控制材料的組分、厚度和界面結構,從而優化器件的性能。

  光電子器件:在光電子領域,Riber MBE系統可用于制造太陽能電池、LED、光電探測器等器件。利用MBE技術生長的量子點等結構,可以顯著提升這些器件的光電轉換效率和性能穩定性。

  量子點研究:MBE系統還廣泛應用于量子點的研究和生產中。量子點是一種具有光電特性的納米材料,通過MBE技術可以精確控制其尺寸、形狀和組分,從而制備出性能優異的量子點材料。

3 設備特點

  高精度沉積:Riber MBE系統能夠實現原子層級的材料沉積控制,確保薄膜的高質量和均勻性。這種高精度沉積能力使得MBE系統在制造高性能微電子和光電子器件方面具有優勢。

  高真空環境:系統配備先進的真空系統,提供超高真空環境,有效減少雜質和污染,保證晶體沉積的純度和質量。

  低溫生長:MBE技術采用低溫生長方式,有效避免界面原子的互擴散和缺陷的形成,從而生長出高質量的薄膜材料。

    多源端口設計:部分型號如4英寸中試生產系統可配備多個源端口,以滿足不同材料的沉積需求,有助于生長復雜的半導體結構。


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