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詳細介紹
1. 產品概述：
臺式 μMLA 系統是優良的無模板技術，建立在的 μPG 平臺之上，該平臺是全球高的臺式無模板系統。它是一款入門研發（R&D）工具，幾乎適用于任何需要微結構的應用。典型的例子有微流控（細胞分選裝置、芯片實驗室）、小規模掩模寫入、微光學和微透鏡陣列、傳感器、MEMS、接觸式二維材料和扇出電等。
μMLA是一種靈活且可定制的工具，并提供兩種曝光模式。標準μMLA使用光柵掃描曝光模式進行曝光，該模式速度快，可提供出色的圖像質量和保真度，而寫入時間與圖案密度的結構大小無關。可選的矢量掃描模式旨在以更快、更準確的方式對連續平滑的曲線（如波導）進行圖案化。三種光學設置提供了可變分辨率和吞吐量的選擇。每種配置都允許在不同的分辨率和速度配置之間輕松切換，以優化給定應用的曝光。拉伸模式可以對現有結構進行直接的臨時修改，并可以與納米線或 2D 材料進行電接觸。灰度曝光模式允許創建復雜的 2.5 結構，例如微光學設備。μMLA占地面積小，可放在普通桌子上。
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