在线观看欧美视频,久久成人性色,东北色p小视频在线看,日韩无码最新网址

歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站！
咨詢熱線

當前位置：首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  5 刻蝕設備  >  RIE-800iPB電感耦合等離子體刻蝕設備

電感耦合等離子體刻蝕設備

簡要描述：Samco 的 RIE-800iPB 是一種電感耦合等離子體刻蝕設備，使用高密度等離子體進行 MEMS 和 TSV 應用所需的深度硅蝕刻。RIE-800iPB是為Bosch工藝設計的用硅蝕刻系統（由Robert Bosch GmbH授權）。該系統的反應室、電、平臺和真空設計克服了在競爭系統中遇到的問題，可實現高速(約50 μm/min)、無傾斜、高剖面蝕刻，具有行業先的

  • 產品型號：RIE-800iPB
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2024-09-06
  • 訪  問  量： 388

詳細介紹

1. 產品概述

Samco 的 RIE-800iPB 是一種高性能的電感耦合等離子體 (ICP) 蝕刻系統，使用高密度等離子體進行 MEMS 和 TSV 應用所需的深度硅蝕刻。

RIE-800iPB是為Bosch工藝設計的用硅蝕刻系統（由Robert Bosch GmbH授權）。該系統的反應室、電、平臺和真空設計克服了在競爭系統中遇到的問題，可實現高速(約50 μm/min)、無傾斜、高剖面蝕刻，具有行業先的選擇性(超過100:1)。

2. 設備用途/原理

MEMS（加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、執行器等）。通過硅通道(TSV)、噴墨打印機頭的加工、功率器件(超結MOSFET)、等離子切割/劃線。

3. 設備特點

MEMS量產中的高速蝕刻，量產中的高寬比蝕刻，扇貝的控制/無扇貝的非波西法流程，傾斜控制，均勻性好，用于絕緣體硅(SOI)晶片缺口控制的偏置脈沖。


產品咨詢

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7