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芯片刻蝕機

簡要描述:ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機,優良的等離子體發生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

  • 產品型號:ELEDE® 380系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-05
  • 訪  問  量: 674

詳細介紹

1. 產品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機,優良的等離子體發生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

2. 設備用途/原理

優良的等離子體發生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬多片式托盤,實現高產能,同時確保優異的刻蝕均勻性全路徑全真空,全自動晶圓傳輸,顆粒控制優工藝套件設計,更長的耗材壽命

3. 設備特點

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸適用材料  藍寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機物適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質反射層(DBR)刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕適用域化合物半導體

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