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8英寸槽式清洗設備

簡要描述:WE2102系列 8英寸槽式清洗設備,該平臺工藝區為 12 吋優良槽式清洗設備的拓展,具備優異的工藝效果。

  • 產品型號:WE2102系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 456

詳細介紹

1. 產品概述

WE2102系列 8英寸槽式清洗設備,該平臺工藝區為 12 吋優良槽式清洗設備的拓展,具備優異的工藝效果。

2. 設備用途/原理

該平臺工藝區為 12 吋優良槽式清洗設備的拓展,具備優異的工藝效果精準控制藥液混合比例多樣的藥液比例擴展應用精準的蝕刻速率控制優秀的干燥效果軟件量身定制,具備快速更新能力

3. 設備特點

晶圓尺寸 8 英寸適用材料 光阻、單晶硅、氧化硅、氮化硅、介質膜、金屬膜、氮化鈦、硅化物適用工藝 預清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除(Co,Ti)、Recycle 清洗適用域 集成電路、化合物半導體、新興應用

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