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CMP后清洗機

簡要描述:GNP CLEANER-428L型CMP后清洗機集成了兩個雙刷站,設計緊湊,占地面積小,可清洗(4“~8“)晶圓。

  • 產品型號:GNP CLEANER-428L
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-06
  • 訪  問  量: 399

詳細介紹

1. 產品概述:

適用晶圓尺寸:100mm(4) ~ 200mm(8")

配置:獨立配置4個清洗工位用DIW噴霧預清洗兩個雙面滾刷清洗用氮氣吹干旋轉漂洗

清潔器尺寸:1800 w 970D 1500 hmm

電刷尺寸:038(OD) 018(ID) 310(L)mm

預清洗工位:DIW噴霧清洗,工位間DIW帷幕清洗輥刷工位

化學:2個化學泵(每個刷室1)NH4OH(< 0.1wt%)DIW

刷型:雙面PVA刷刷位調節(jié):手動控制(可用刷隙范圍:-1.5mm ~ 2mm)

轉速:<滿量程的2%

范圍30 ~ 400rpm

化學品流量:滿量程< 1L/min

DI流量:滿量程< 5L/min

旋轉速度:2500/DIW沖洗/ N2吹掃/強掃

控制工藝:噴淋清洗/雙面刷清洗/旋漂干洗/濕洗/干洗

程序控制:PC & PC觸摸監(jiān)控,程序可編程,計算機網(wǎng)絡可比


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