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分子束外延MBE

簡要描述:GEN2000® MBE 系統提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。

  • 產品型號:GEN2000
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 353

詳細介紹

1. 產品概述:

GEN2000® MBE 系統提供的吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。

提供業界低的單片晶圓成本

設計使占地面積比同類 MBE 系統小 40% 至 60%

模塊化架構允許多兩個生長模塊,從而提高產量或允許處理不相容的材料

易于維護,可大限度地延長正常運行時間

可選的隔板安裝優化了潔凈室空間

集成了業界具創新性、可靠的系統硬件、源和組件

  GEN2000® MBE 系統提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。          

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