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Beneq C2R--空間原子層沉積ALD

簡要描述:Beneq C2R 將等離子體增強原子層沉積 (PEALD) 工藝提升到一個全新的水平 – PEALD 可用于大批量生產。由于采用等離子體增強旋轉原子層沉積工藝,Beneq C2R 是厚原子層沉積膜的理想選擇,甚至可達幾微米。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 322

詳細介紹

1.產品概述:

Beneq C2R 將等離子體增強原子層沉積 (PEALD) 工藝提升到一個全新的水平 – PEALD 可用于大批量生產。由于采用等離子體增強旋轉原子層沉積工藝,Beneq C2R 是厚原子層沉積膜的理想選擇,甚至可達幾微米。

2.產品配置:

Beneq C2R 具有基于 Brooks Automation 值得信賴的 MX400 傳輸模塊的自動化選項。

自動化服務包括:

Brooks MX400 基于集群的模塊

雙臂掃地機器人            

樣品對準器                     

可選預熱和冷卻

3.產品優勢:

超高沉積速率,高達每小時幾微米

批量 PEALD 工藝,適用于多達 7 個 200 mm 晶圓

適用于厚度達 30 mm 的鏡頭和其他 3D 基板

膜厚均勻性高,適用于要求苛刻的光學鍍膜應用

可配備負載鎖或晶圓自動化

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