在线观看欧美视频,久久成人性色,东北色p小视频在线看,日韩无码最新网址

歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站！
咨詢熱線

當前位置：首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  5 刻蝕設備  >  Kessel® Pishow® M8英寸金屬刻蝕設備

8英寸金屬刻蝕設備

簡要描述：Kessel™ Pishow® M 金屬刻蝕設備為可用于8英寸的IC產線鋁金屬工藝的量產型機臺，基于自有開發的優化設計，保證了優異的刻蝕均勻性（片內<8%，片間<5%）和顆粒控制。在4微米厚鋁刻蝕工藝中，可以提供8000片/月的產能。


該設備高性價比的解決方案和優秀的空間利用率，可為客戶產能升級提供幫助。

  • 產品型號：Kessel® Pishow® M
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-06-05
  • 訪  問  量： 452

詳細介紹

1. 系統特性

Kessel® Pishow® M 金屬刻蝕設備是面向8英寸集成電路制造的量產型設備

設備由電感耦合等離子體刻蝕腔（ICP etch chamber）、去膠腔（stripchamber）、冷卻腔（cooling chamber）、傳輸模塊（transfer module）構成適用于0.11微米及其它技術代的鋁墊刻蝕及鎢回刻（W Recess）工藝也可換用6英寸ESC。

2. 工藝數據

鋁墊刻蝕

鋁線工藝

鎢塞刻蝕 

3. 詳細介紹

Kessel™ Pishow® M 金屬刻蝕設備為可用于8英寸的IC產線鋁金屬工藝的量產型機臺，基于自有開發的優化設計，保證了優異的刻蝕均勻性（片內<8%，片間<5%）和顆?？刂?。在4微米厚鋁刻蝕工藝中，可以提供8000片/月的產能。

該設備高性價比的解決方案和優秀的空間利用率，可為客戶產能升提供幫助。


產品咨詢

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7