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全自動減薄機

簡要描述:全自動減薄機是一款功能全面,兼容性好,配置豐富,全自動系統的高精度研磨設備,全自動上下片,干進干出的全自動研削系統;自動厚度測量 多段研削程序 超負載等待;可磨削各類半導體材料 兼容6&8英寸晶圓減薄;雙軸研削單元 三工作臺加工。

  • 產品型號:TFG-3200
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 390

詳細介紹

1 產品概述:

全自動減薄機是一種用于信息科學與系統科學、材料科學領域的工藝試驗儀器,尤其在半導體制造過程中扮演著至關重要的角色。它采用先進的技術和設計,能夠高效、精準地將晶圓或其他材料的厚度減薄到范圍內,為后續的制造工序提供高質量的基材。

2 設備用途:

全自動減薄機主要用于半導體制造、微電子、光學制造等領域。具體而言,其主要用途包括:

1、 晶圓減薄:在半導體制造過程中,將晶圓厚度減薄至特定尺寸,以滿足芯片封裝和性能要求。減薄后的晶圓更有利于后續的封裝工藝,同時能提高芯片的散熱效果。

2、 材料加工:除了晶圓外,全自動減薄機還可用于硅片、光學材料等厚材料的加工,通過調整工作參數實現不同厚度和形狀的加工,提高材料的加工質量和效率。

3. 設備特點

全自動減薄機具有多個顯著特點,這些特點共同構成了其高效、精準和可靠的性能:

      1、高精度控制:采用先進的位置傳感器和伺服系統,確保在減薄過程中能夠精確控制晶圓或其他材料的位置和厚度。這種高精度控制有助于減少加工誤差,提高產品質量。

      2、超高速研磨:配備超高速研磨系統,能夠實現快速磨削和精確厚度控制。這不僅提高了生產效率,還確保了加工過程的穩定性和一致性。

      3、智能化操作:配備智能操作系統,支持自動化操作,降低了對人工操作的依賴。用戶可以通過預設程序或界面進行參數設置和監控,實現高效、便捷的加工過程。

      4、環保工藝:采用環保工藝和材料,減少有害物質排放,確保生產過程的安全和環保。這符合現代制造業對可持續發展的要求。

綜上所述,全自動減薄機以其高精度控制、超高速研磨、智能化操作、環保工藝、多功能性和高穩定性等特點,在半導體制造和其他材料加工領域發揮著重要作用。

4  設備參數:

項目

TFG-3200

大晶圓尺寸

8 英寸

砂輪規格

?303(OD)mm

砂輪軸數量

2

砂輪軸功率

9.5kW

砂輪軸轉速范圍

0~4000 RPM

工作臺轉速

0~300 RPM

工作臺移動方式

Index轉位式

Z軸進給速度

0.1~1000 um /sec

厚度在線測量方式

IPG,實時測厚

厚度在線測量范圍(IPG

0-1800um

NCG非接觸實時測厚系統

可選配





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