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詳細介紹
1.產品概述：
該設備主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統；真空測量系統；蒸發源；樣品加熱控溫；電控系統；配氣系統等部分組成。
2.產品應用：
在實際應用中，這種系統常用于半導體、光電子、有機電子等域，用于制備各種有機薄膜、金屬薄膜或復合薄膜，以滿足不同器件和材料的研究與開發需求。
3.真空室:
沈陽科學儀器的高真空有機及熱阻蒸發薄膜沉積系統 DZ350的詳細介紹可能因具體型號和配置而有所不同
真空室結構:U形開門
真空室尺寸:φ350×400mm
限真空度:≤6.6E-5Pa
沉積源:2個鎢舟、2個有機源
樣品尺寸，溫度:50mmx50mm，1片，高300℃
占地面積（長x寬x高）:約2.5米×1.2米×1.8米
電控描述:采用先進的控制系統，方便用戶設置和調整工藝參數，如蒸發溫度、沉積時間等。
手動：樣品臺：擁有可旋轉或可移動的樣品臺，以便均勻沉積薄膜。
工藝:不含工藝
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