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8英寸通用物理氣相沉積系統

簡要描述:eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統,加熱基座設計,具備良好的溫度均勻性,高溫厚鋁工藝連續作業無累溫。

  • 產品型號:eVictor系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 385

詳細介紹

1. 產品概述

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統,加熱基座設計,具備良好的溫度均勻性,高溫厚鋁工藝連續作業無累溫。

2. 設備用途/原理

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統加熱基座設計,具備良好的溫度均勻性,高溫厚鋁工藝連續作業無累溫高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力背金工藝薄片傳輸及工藝,過程溫度實時監控,優異的溫度和應力控制能力雙腔傳輸平臺,多可支持 10 個工藝模塊靶材利用率高,大產能,低運營成本

3. 設備特點

晶圓尺寸 6、8 英寸適用材料 鈦、氮化鈦、鋁、 鎳、鎳釩、銀適用工藝 鋁線、正面電工藝、背面金屬化工藝等適用域 科研、化合物半導體、集成電路

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