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8英寸單片常壓/減壓硅外延系統

簡要描述:Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統,傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途,友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機型,可滿足不同客戶需求。

  • 產品型號:Esther/Eris 系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 413

詳細介紹

1. 產品概述

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統,傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途,友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機型,可滿足不同客戶需求。

2. 設備用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效具有單腔和多腔兩種機型,可滿足不同客戶需求

3. 設備特點

晶圓尺寸 6、8 英寸適用材料 適用工藝 常壓:N&P 常壓硅外延減壓:埋層外延、選擇性外延、多晶外延適用域 科研、集成電路

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