在线观看欧美视频,久久成人性色,东北色p小视频在线看,日韩无码最新网址

歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站!
咨詢熱線

當前位置:首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  5 刻蝕設備  >  customized-14深硅刻蝕系統DEEP SI ETCH

深硅刻蝕系統DEEP SI ETCH

簡要描述:提供深硅蝕刻(DSiE)領域的MEMS,封裝和納米技術的廣泛應用,從光滑側壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕,不需要更換腔室硬件就可以實現。

  • 產品型號:customized-14
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-06
  • 訪  問  量: 1556

詳細介紹

1. 產品概述

提供深硅蝕刻(DSiE)領域的MEMS,封裝和納米技術的廣泛應用,從光滑側壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕,不需要更換腔室硬件就可以實現。百科:深硅刻蝕系統的原理既包括利用等離子體中的活性粒子進行物理和化學作用的等離子體刻蝕技術,也包括通過化學反應去除材料的濕法刻蝕技術。


2. 設備特點

光滑側壁工藝;

高刻蝕速率腔刻蝕;

高深寬比工藝;

錐形通孔刻蝕;

機械或靜電壓盤,加熱內襯;

延長了兩次清洗間的平均時間間隔(MTBC)環形激光陀螺反射鏡;

X射線光學系統;

紅外(IR)傳感器;

II-VI族材料,通信濾波器

產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7