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LSA 201 環境控制激光尖峰退火設備

簡要描述:Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系統具有與 LSA101 相同的架構,可在掃描激光系統中實現全晶圓環境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統能夠運行任何惰性氣體的混合物,包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵極結活化和鎳硅化物形成等應用。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-06
  • 訪  問  量: 556

詳細介紹

1.產品概述:

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系統具有與 LSA101 相同的架構,但包括獲得利的微室設計,可在掃描激光系統中實現全晶圓環境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統能夠運行任何惰性氣體的混合物,包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結活化和鎳硅化物形成等應用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝,例如環境控制至關重要的界面工程和材料改性。

2.產品特點

長波長、布魯斯特角、p 偏振光,可實現佳的芯片內均勻性

閉環溫度反饋控制,保持嚴格的溫度控制

布局獨立設計,非常適合處理平面和 FinFET 器件

具有靈活停留時間的局部應力場可實現低應力處理并減少晶圓破損

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