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電阻式碳化硅長晶爐

簡要描述:AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

  • 產品型號:AGF系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 441

詳細介紹

1. 產品概述

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

2. 設備用途/原理

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長,4 組加熱器獨立控制,靈活的溫場調節機能力。坩堝系統具備升降、旋轉功能,溫場更均勻下裝載,上維護,操作便捷。

3. 設備特點

晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 電阻加熱適用材料 碳化硅,適用工藝 物理氣相輸運法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導體材料之一,具有禁帶寬度大、高熱導率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場等特性,在智能電網、電力牽引、電動汽車、微波射頻等領域具有優勢。


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