SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置靈活性,以滿足生產控制和質量控制的要求。該工具可以配置反射法和橢圓偏振法中的μ點測量,以及提供準確測量位置的模式識別。所有測量都可以與邊緣抓取技術相結合。
SpectraRay/4 是 SENTECH 專有的光譜橢圓偏振儀軟件,包括橢圓、反射和透射數據的數據采集、建模、擬合和擴展報告。它支持可變角度、多實驗和組合光度測量。 包括一個基于 SENTECH 厚度測量和文獻數據的龐大而全面的材料數據庫。大量的色散模型允許對幾乎任何類型的材料進行建模。
SENTECH SENDIRA 專為紅外 (FTIR) 而設計。這款緊湊的臺式儀器包括吹掃橢偏儀光學元件、計算機控制的測角儀、水平樣品平臺、自動準直望遠鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 (1.7 μm – 25 μm) 的光譜范圍內提供出色的精度和高分辨率。
定制基于靈活模塊的 150 mm 探針臺 FormFactor為150 mm探針臺引入了新的模塊化概念。這將使您更容易以令人難以置信的價格配置個性化探頭解決方案,以滿足當前和未來的需求。只需選擇一個基站,并根據需要添加任意數量的特定應用入門套件。
SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡單、測量速度快、不同入射角橢偏振測量的組合數據分析等特點。它的測量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進的軟件 SpectraRay/4 相結合,可以輕松確定單片薄膜和復雜層疊的厚度和折射率。
SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測量高達 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供最寬的光譜范圍、*的信噪比和最高的可選光譜分辨率。可以測量厚度達 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測量速度與二極管陣列配置相比,二極管陣列配置也可選擇高達1,700 nm。